https://www.cnews.ru/news/top/2026-07-20_v_rossii_sozdana_ustanovka
В России создали суверенную установку электронно-лучевой литографии для выпуска чипов - CNews
В России создана установка электронно-лучевой литографии для изготовления фотошаблонов и формирования рисунка на подложках без использования маски....