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プラズマ薄膜加工装置 | オックスフォード・インストゥルメンツ - Plasma Technology - オックスフォード・インストゥルメンツ
産業界と研究開発向けに、次世代パワーデバイスや量子デバイス、生成AIなどのデバイス製造装置において、原子レベルの微細加工を実現する ALD （原子層堆積）や ALE （原子層エッチング）、またプラズマを利用したエッチングやデポジション技術や製品などをご紹介しています。
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