https://publica.fraunhofer.de/entities/patent/54c8cf76-e474-482d-85b0-530df8d676c4
Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden
(A1) Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine mikromechanische Funktionsstruktur, die um eine Hauptachse aus einer Ruhelage auslenkbar ist, eine...
mitelektroden