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PSI - Projekte und Infos - Optik und Photonik - Mikrostrukturierung - Bildergalerie
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https://publica.fraunhofer.de/entities/patent/575f124e-ee98-455e-909f-6dd5d6bf3a8b
Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkoerperoberflaechen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkoerperoberflaechen durch chemisches oder elektrochemisches Aetzen, bei dem die...
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https://publikationen.bibliothek.kit.edu/200045530
Mikrostrukturierung mit beschleunigten Clusterstrahlen und bew...
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