https://chinatransducers.seu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=cg020211&flag=1
用软光刻技术实现微细结构-Three Dimension Micro2structure Soft Lithography Technology
本文介绍了一种新的微结构制造技术———软光刻技术,它提供了一种方便、有效的和低成本的微米、纳米尺 寸微结构的制造方法. 本文着重涉及了软光刻的几项关键技术:弹性印模、再铸模等,阐述了模板的制备方法和原 理,并应用这种模板实现微阀和微毛细管.;This paper describes a novel...
three dimensionsoft lithographytechnology