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sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] – 서울대학교 플라즈마응용연구실
안녕하십니까. 장비사에서 식각 공정 개발 업무를 맡고 있는 김노엘 입니다. 공부하던 중, ESC 온도 증가에 따른 Sticking coefficient 관련 궁금한 점이 생겨 질문을 남기게 되었습니다. 보통 HAR 구조 식각 시 Sticky한 성질을 갖고 있는 gas가 bottom...
sticking coefficientharbias