https://www.ferrotec.com/products-technologies/cvd_sic/
Silicon Carbide Parts (CVD-SiC) - Corporate
silicon carbidecvd sicpartscorporate
https://www.aixtron.com/de/innovation/technologien/warmwand-planeten-prinzip
AIXTRON Technologien: Warmwand-Planeten-Prinzip (SiC-CVD) :: AIXTRON
Mit einer Konfiguration von bis zu 5x200 mm Wafern gehören diese Anlagen zu den größten CVD-Produktionsanlagen für Siliziumkarbid (SiC) weltweit.
aixtron technologienplanetenprinzipsiccvd