https://aixtron.com/de/innovation/technologien/showerhead-prinzip
AIXTRON Technologien: Showerhead-Prinzip (MOCVD) :: AIXTRON
Beim Showerhead-Konzept werden prozessrelevante Gase durch wassergekühlte Oberflächen über der gesamten Beschichtungsfläche in den Reaktor eingelassen.
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https://meissner.site.creght.com/product-rebco1
迈斯纳材料科技有限公司｜第一代 REBCO 超导 MOCVD 设备
作为国内首台实现REBCO超导带材稳定生长的自主化MOCVD设备，第一代产品以“打破国外垄断、验证国产化技术路线”为核心目标，承担起“从理论到实践”的关键使命如同半导体行业的实验室级外延装备，为后续规模化设备研发积累了宝贵的工程数据与工艺经验。
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https://evertiq.com/design/2026-05-07-aixtron-supplied-planetary-gan-mocvd-systems-to-renesas
Aixtron supplied planetary GaN MOCVD systems to Renesas
May 7, 2026 - Aixtron has supplied Renesas with multiple Planetary G5+C systems to expand its Gallium Nitride (GaN) production in high-volume manufacturing (HVM)...
aixtronsuppliedplanetaryganmocvd
https://www.aixtron.com/de/innovation/technologien/mocvd
AIXTRON Technologien: MOCVD :: AIXTRON
MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition) ist eine Technologie, mit der ultradünne, einkristalline Schichten auf Halbleiter-Wafer aufgetragen werden.
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https://www.aixtron.com/de/innovation/technologien/showerhead-prinzip
AIXTRON Technologien: Showerhead-Prinzip (MOCVD) :: AIXTRON
Beim Showerhead-Konzept werden prozessrelevante Gase durch wassergekühlte Oberflächen über der gesamten Beschichtungsfläche in den Reaktor eingelassen.
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